ชาฤๅษีพะวอเป็นไม้ล้มลุกหลายปี สูง ๙-๑๕ ซม. เส้นผ่านศูนย์กลางลำต้นประมาณ ๗ มม. เปลือกสีน้ำตาลอมเทา ส่วนโคนค่อนข้างแข็งคล้ายมีเนื้อไม้ ปลายกิ่งเปราะ หักง่าย

 ใบเดี่ยว เรียงตรงข้ามสลับตั้งฉาก เรียงถี่เป็นกระจุกใกล้ปลายยอด รูปรี รูปขอบขนานถึงรูปไข่กลับกว้าง กว้าง ๓-๑๑ ซม. ยาว ๑๕-๒๕ ซม. ปลายแหลมหรือป้าน โคนสอบเรียวแคบ แผ่เป็นปีกกว้างและเป็นจีบห่างออกมาที่โคนสุด ขอบหยักมนและพับจีบ แผ่นใบบางคล้ายกระดาษ เปราะและหักง่าย ด้านบนสีเขียว ด้านล่างสีเขียวอ่อนซีด เกลี้ยงหรือมีขนเล็กน้อย เส้นแขนงใบข้างละ ๙-๑๓ เส้น เป็นร่องตื้นทางด้านบน เป็นสันนูนเห็นชัดทางด้านล่าง เส้นใบย่อยแบบร่างแห เห็นไม่ชัด ก้านใบยาว ๘-๑๒ ซม.

 ช่อดอกแบบช่อกระจุกเชิงประกอบ ซ้อนกันแน่น ออกที่ปลายยอดหรือซอกใบใกล้ปลายยอดก้านช่อดอกยาว ๒-๔ ซม. ดอกออกเป็นคู่ ก้านดอกยาว ๑-๒ ซม. ใบประดับสีเขียว รูปเกือบกลมหรือรูปไข่กว้าง กว้างและยาว ๑.๕-๒.๕ ซม. ปลายเรียวแหลม ขอบหยักมนและพับจีบ เกลี้ยง ใบประดับย่อยคล้ายใบประดับ สีขาวและขนาดเล็กกว่าเล็กน้อยกลีบเลี้ยงสีขาว โคนเชื่อมติดกันประมาณ ๕ มม. ปลายมี ๕ แฉก แยกเป็น ๒ ซีก ซีกบน ๓ แฉก

รูปไข่กว้างหรือรูปเกือบกลม กว้างและยาว ๕-๖ มม. ระหว่างแฉกแนบชิดเข้าหากัน คุ่มโค้งและพับออกด้านนอก ซีกล่าง ๒ แฉก รูปไข่กว้างหรือรูปเกือบกลม กว้างและยาว ๕-๘ มม. ปลายมนขอบหยักละเอียด กลีบดอกสีขาว คล้ายรูประฆังโคนเชื่อมติดกัน ยาวประมาณ ๑ ซม. ปลายแยกเป็น ๕ แฉก รูปไข่กลับหรือรูปเกือบกลม กว้าง ๓-๔.๕ มม. ยาว ๕-๗ มม. ปลายมน โค้งพับออกด้านนอก เกสรเพศผู้ ๕ เกสร ติดอยู่ในหลอดกลีบดอก ที่สมบูรณ์มี ๒ เกสร ก้านชูอับเรณูรูปแถบ ยาวประมาณ ๒ มม. สีขาวนวล ตรงกลางโค้ง อับเรณูสีน้ำตาลอ่อน กว้างประมาณ ๒ มม. ยาวประมาณ ๓ มม. เกสรเพศผู้ที่เหลืออีก ๓ เกสรเป็นหมัน และลดรูปติดอยู่ใกล้โคนหลอดกลีบดอก จานฐานดอกรูปวงแหวน รังไข่อยู่เหนือวงกลีบ รูปทรงรี ยาวประมาณ ๓.๕ มม. มี ๒ ช่อง แต่ละช่องมีออวุลจำนวนมาก ก้านยอดเกสรเพศเมียสีขาว ยาว ๐.๘-๑ ซม. ยอดเกสรเพศเมียสีขาวหรือสีขาวนวล รูปลิ้น ยาวประมาณ ๓ มม.

 ผลแบบผลแห้งแตก ทรงรูปไข่ ปลายเรียวแหลม กว้าง ๓-๕ มม. ยาว ๐.๘-๑ ซม. มีกลีบเลี้ยงก้านยอดเกสรเพศเมีย และยอดเกสรเพศเมียติดทนเกลี้ยง เมล็ดรูปค่อนข้างรี สีน้ำตาลเข้ม มีจำนวนมาก

 ชาฤาษีพะวอเป็นพรรณไม้ถิ่นเดียวของไทยมีเขตการกระจายพันธุ์ทางภาคเหนือ พบตามหน้าผาหินปูนในที่ร่มรำไร ที่สูงจากระดับทะเล ๕๐๐-๘๐๐ ม. ออกดอกเดือนกรกฎาคมถึงกันยายน เป็นผลเดือนกันยายนถึงพฤศจิกายน.